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技術(shù)文章
TECHNICAL ARTICLES我們致力于與您的集成需求一起不斷發(fā)展,S mart 2
我們很高興與您分享一些有關(guān)我們的 S mart 2 系統(tǒng) 令人興奮的消息!在本新聞中,您將了解到有關(guān)新功能的信息,有一個(gè)演示該系統(tǒng)在 CMP 過(guò)程的案例研究以及我們?cè)谥袊?guó)的合作伙伴成功完成的一次集成的消息。
打開(kāi)新的探索途徑!
S mart 2變得更加靈活多樣,添加了三個(gè)新干涉物鏡,包括干涉2.5X TI和5X TI,以及明場(chǎng)100X EPI鏡頭。有了這些新鏡頭,顯微鏡的功能得到了大大增強(qiáng)。
接近科技的極限
使用CSI的膜厚模式,用戶(hù)可以獲取約為1.5微米厚的透明膜層的頂部、厚度和底部的地形數(shù)據(jù)。
CMP過(guò)程中PAD表面監(jiān)測(cè)的在線計(jì)量學(xué)
S mart 2可以將拋光墊的使用壽命延長(zhǎng)20%,為半導(dǎo)體、硬盤(pán)和LED晶圓制造領(lǐng)域提供了一種具有成本效益的解決方案。
可集成解決方案在中國(guó)取得成功
我們很高興與您分享關(guān)于我們合作伙伴蘇州黑河在中國(guó)成功集成的一些新聞和視頻。
我們的技術(shù)已經(jīng)證明了其與不同制造過(guò)程和系統(tǒng)的集成性,使它成為先進(jìn)的表面計(jì)量學(xué)的一種靈活而強(qiáng)大的工具。
通過(guò)這種集成的成功,我們有信心會(huì)有更多的集成商能夠利用我們的技術(shù)來(lái)增強(qiáng)他們的質(zhì)量控制流程,實(shí)現(xiàn)更高效、更準(zhǔn)確的結(jié)果。
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