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PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統(tǒng)
PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統(tǒng)可以實現(xiàn)包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場耦合研究。
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PicoFemto NI-100 SEM納米力測量將納米壓痕儀集成進掃描電鏡中,使用戶可以在掃描電鏡中進行原位納米壓痕研究。該系統(tǒng)由一個三維壓電驅(qū)動的樣品臺和一個納米力測量探針組成。樣品安裝方式靈活多樣,可在三維納米位移臺的驅(qū)動下,達到超過5 mm的準確定位,定位分辨率優(yōu)于100 nm,以使待測量區(qū)域準確對準力探針。
力探針同樣由壓電驅(qū)動,在軸向達到100 um的伸縮長度,位移分辨率優(yōu)于0.25mm。由力傳感器準確測量所施加的力的載荷,可測拉力和壓力。并有不同的大量程的力傳感器可選配,達到很好的測量效果。通過搭配電學、光學、加熱等模塊,PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統(tǒng)還可以實現(xiàn)包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場耦合研究。
PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統(tǒng)基本技術參數(shù)表
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