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澤攸透射電鏡原位MEMS低溫電學(xué)測量系統(tǒng)
澤攸透射電鏡原位MEMS低溫電學(xué)測量系統(tǒng),是在標(biāo)配MEMS芯片樣品桿上集成低溫控制模塊,實現(xiàn)低溫電學(xué)測量或全溫區(qū)測量功能。
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性能指標(biāo):
1.透射電子顯微鏡指標(biāo):
(1)兼容指*型號電鏡及極靴;
(2)單傾可選高傾角版本;
(3)可選雙傾版本,β角傾轉(zhuǎn)±25°(同時受限于極靴);
(4)測量電極數(shù)可選。
2.電學(xué)測量指標(biāo):
(1)包含一個電流電壓測試單元;
(2)電壓輸出最大±200 V,最小±100 nV;
(3)電流測量最大±1.5 A,最小100 fA;
(4)恒壓或者恒流模式;
(5)自動電流-電壓(I-V)測量、電流-時間(I-t)測量,自動保存。
3.低溫指標(biāo):
(1)兼容MEMS加熱及電學(xué)芯片;
(2)全溫區(qū)測量,溫度范圍:85 K- 380 K;
(3)控溫穩(wěn)定性:優(yōu)于±0.1 K;
(4)溫度連續(xù)可控。
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