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共聚焦白光干涉儀
S neox 0.65X西班牙Sensofar平面度測量白光干涉輪廓儀
西班牙Sensofar平面度測量白光干涉儀S neox 0.65X,以優(yōu)秀的橫向和縱向分辨率測量平面度。S neox搭配0.65X物鏡,具有最大視野的物鏡和最高精度的載物臺(tái),在平面度、平行度和臺(tái)階高度測量方面提供了最佳的表現(xiàn)。Sensofar自己設(shè)計(jì)的0.65X邁克爾遜物鏡旨在實(shí)現(xiàn)一個(gè)目的:以快速準(zhǔn)確的方式測量平面度。密集采樣、大視野和干涉測量的結(jié)合確保了所預(yù)期的效果。
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