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三維光學(xué)輪廓儀
三維共聚焦顯微鏡
Sensofar多功能共聚焦顯微鏡S neox$n全新設(shè)計(jì)的3D光學(xué)輪廓儀S neox超越傳統(tǒng),將共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)融于一身,測(cè)量頭內(nèi)無(wú)運(yùn)動(dòng)部件。
Sensofar三維3D共聚焦白光干涉儀能夠測(cè)量不同的材質(zhì),結(jié)構(gòu),表面粗糙度和波度,幾乎涵蓋所有類型的表面形貌。
Sensofar三維共聚焦顯微鏡S lynx2,是一款多功能、用途廣泛的3D光學(xué)輪廓儀,用于粗糙度、體積和臨界尺寸測(cè)量。3D白光干涉共聚焦顯微鏡是將高清晰度共聚焦顯微鏡、納米級(jí)白光干涉儀和多焦面疊加三維顯示技術(shù)融合在一臺(tái)儀器中。因此具有這三種產(chǎn)品的*性:即具備高橫向分辨率的共聚焦影像效果、也具備白光干涉儀的納米級(jí)的垂直分辨率、同時(shí)具備多焦面疊加高達(dá)86度的傾斜角度觀察能力。
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